データ番号　B07162160003

名称　LSI回路焼付機（縮小投影露光装置＿エキシマ・スキャナー）

W　2300
D　3520
H　2600

備考
参考文献 建築設計資料集成（物品）丸善（株）発行
参考資料
編集年月日 2005/06